通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。 采用ULVAC設計的轉子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。特點
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。 醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。用途
*1：到達壓力時 MS120A MA600A MS1200A規(guī)格
型式 MS120A MS600A MS1200A *排氣速度 *1 m3/h 115 560 980 到達壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1 電源電壓 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消費電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷卻水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 *水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 質量 *4 kg 139 241 264 適用規(guī)格 CE、cTUVus 標準附屬品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer 本體選配件 Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM外部選配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的*水蒸氣處理量
*4：Including a silencer排氣速度曲線
在手機上查看
京公網(wǎng)安備 11010802023672號
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質及產(chǎn)品質量。