凈化電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 第三方檢測-CMA--安衡檢測

一、檢測項目：懸浮粒子數(shù)、浮游菌、沉降菌、溫度、相對濕度、風速、風量、噪聲、照度、靜壓差、高效過濾器檢漏、自凈時間、換氣次數(shù)

空氣浮游菌：1.除受潔凈區(qū)設備限制外，取樣點應在整個潔凈區(qū)均勻布置；2.在日常監(jiān)控時，那些與產(chǎn)品相鄰的區(qū)域，以及可能與產(chǎn)品直接接觸的空氣及設備附近均應考慮增加取樣點和取樣次數(shù)（與產(chǎn)品非接觸區(qū)相比，這些區(qū)域應視為關鍵區(qū)）；人員活動頻繁或人員集中的區(qū)域也應被視為關鍵區(qū)，需加強監(jiān)控。3.取樣點一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺的高度。4.取樣時，取樣設備會對氣流產(chǎn)生干擾，因此，動態(tài)測試空氣浮游菌取樣時應避免可能對氣流組織的干擾。5.應根據(jù)被測區(qū)域的浮游菌控制限度和取樣方式確定采樣量，每一個點一般采樣一次。6.盡量避免在回風口附近取樣，而且測試人員應站在取樣口的下風側，盡量少走動。

電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求  2.溫濕度需求：溫度通常為24 2 度 ，相對濕度為55 5%； 3.送風量大。為了滿意無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風量（換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。每個行業(yè)對于潔凈室的要求都不同，良好的車間環(huán)境對于東西的生產(chǎn)及員工的健康都起著特別大的作用。

電子制造業(yè)廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等按需要進行控制。潔凈室的照度和截面風速按設計或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴格的。其中，對濕度的要求更為嚴格。因為在過于干燥的廠房內容易產(chǎn)生靜電，會損壞CMOS集成度。

監(jiān)測方法有沉降菌法、定量空氣浮游菌采樣法和表面取樣法（如棉簽擦拭法和接觸碟法）等。動態(tài)取樣應當避免對潔凈區(qū)造成不良影響。成品批記錄的審核應當包括環(huán)境監(jiān)測的結果。對表面和操作人員的監(jiān)測，應當在關鍵操作完成后進行。在正常的生產(chǎn)操作監(jiān)測外，可在系統(tǒng)驗證、清潔或消毒等操作完成后增加微生物監(jiān)測。

車間應用：電子廠凈化工程是潔凈度等級在10千級規(guī)范左右的凈化工程生產(chǎn)車間，關鍵操縱氣體浮塵顆粒對工作中目標的環(huán)境污染，內部務必維持正壓力情況。

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